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小序：超纯水——芯片制造的命脉
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极高的清洁度：传感器质料必需为高品级不锈钢（如316L L-VMP），，，，，外貌电解抛光（Ra≤0.4μm），，，，，且无死角，，，，，不析出离子，，，，，不吸附污染物。。。。。 ?
耐高温消毒：系统需按期举行高温纯蒸汽或热水杀菌（SIP），，，，，传感器须能耐受120℃以上高温。。。。。 ?
耐侵蚀：能耐受臭氧水等强氧化性杀菌情形的侵蚀。。。。。 ?
丈量稳固：超纯水电阻率极高（18.2 MΩ·cm），，，，，介电常数稳固，，，，，要求传感用具有极高的信噪比和稳固性。。。。。
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知足最高清洁标准：传感器接液部分可接纳切合SEMI F72标准的清洁质料和处理工艺，，，，，确保不会成为污染源。。。。。 2.
完善的卫生型毗连：可提供Tri-Clamp、ISO、SMS等卫生型历程毗连，，，，，确保无死角。。。。。 3.
耐受SIP流程：接纳高温兼容的电子元件和密封质料，，，，，稳固遭受杀菌温度。。。。。 4.
精准丈量：针对超纯水的特征举行优化设计，，，，，提供稳固、重复性高的液位信号。。。。。
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超纯水储罐：监控储罐液位，，，，，与制水装备（RO/EDI/抛光混床）联动，，，，，坚持水平衡。。。。。 ?
洗濯机供水系统：为晶圆洗濯机前的供水罐提供液位控制信号。。。。。 ?
高纯化学药液罐：监测稀释后高纯化学品（如SC1，，，，， SC2）的液位。。。。。
